Analyse multiphysiques locales pour les nanotechnologies

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Pour citer ce document :
URI: http://hdl.handle.net/2042/36582
Title: Analyse multiphysiques locales pour les nanotechnologies
Author: FILLIT, René; FORTUNIER, Roland
Description: De nombreux produits issus des Micronanotechnologies font aujourd’hui partie de notre quotidien. Il s’agit aussi bien du classique microordinateur que d’objets communicants comme des téléphones mobiles ou les GPS, ou même des composants de sécurité tels que les déclencheurs d’airbag. Pour tous ces produits, comme pour les autres, le coût de fabrication et la fiabilité sont des atouts différenciant, de sorte que la plupart des constructeurs investissent beaucoup dans le suivi des caractéristiques du produit en cours de fabrication. Toutefois, compte tenu de leurs dimensions et de l’organisation de leur production, cette maîtrise requiert des outils spécifiques adaptés. Parmi ces outils, ceux permettant de déterminer des caractéristiques physiques ou mécaniques se sont considérablement développés. Dans cet exposé, nous nous limiterons à la thermique et à la mécanique du solide. Dans un premier temps, les spécificités liées aux micronanotechnologies seront rappelées. Il s’agit principalement de l’organisation de la production et des dimensions spécifiques qui leur sont associées. Nous verrons par exemple que les produits ainsi fabriqués peuvent subir ou profiter des contraintes mécaniques locales générées, à condition de savoir les prévoir et/ou les déterminer expérimentalement. De même, nous verrons que de faibles variations dans le procédé de fabrication peuvent générées de grandes différences de comportement. Nous nous focaliserons ensuite sur un outil de caractérisation thermique locale. Cet outil de thermographie infrarouge permet d’afficher une résolution spatiale proche du micromètre, et ainsi de mesurer des champs thermiques dans des microsystèmes en fonctionnement.
Publisher: AFM, Maison de la Mécanique, 39/41 rue Louis Blanc - 92400 Courbevoie
Date: 2009

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