| Pour citer ce document : |
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URI:
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http://hdl.handle.net/2042/16611
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Title:
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Mesure de viscosité de films de polymère confinés sub-100 nm |
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Author:
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LEVEDER , Tanguy; Laurent Davoust; Stefan Landis
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Abstract:
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Ce travail est une première approche de la mesure de viscosité de films de polymères ultraminces (sub-100 nm). Différentes hypothèses usuelles de rhéologie macroscopique sont confrontées aux résultats expérimentaux obtenus dans le cadre de la lithographie par nanoimpression. Une loi originale de dépendance de la viscosité avec l'épaisseur d'un film de polymère confiné est proposée. |
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Subject:
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S18 Micro et nano systèmes, MEMS, biocapteurs ; Microsystème/Multiphysique; viscosité; couche ultra mince; polymere |
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Publisher:
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AFM, Maison de la Mécanique, 39/41 rue Louis Blanc - 92400 Courbevoie |
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Date:
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2007-08-30 |
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