Mesure de la précontrainte et du module d'élasticité équivalent d'une micro-poutre par profilométrie à stylet.

Abstract

Les microstructures mécaniques issues des microtechnologies sont le plus souvent précontraintes, du fait des techniques de fabrication utilisées, ce qui influe fortement sur leur comportement. Une méthode originale de mesure de contrainte, effectuée à l'aide d'un simple profilomètre à stylet, est appliquée ici à une micro-poutre précontrainte encastrée aux deux extrémités. L'enregistrement de la flèche de la poutre sous la charge du stylet, au fur et à mesure du déplacement de ce dernier, permet, par résolution d'un problème inverse fortement non linéaire, de remonter aux valeurs de la précontrainte de la poutre et de son module d'élasticité équivalent. L'erreur intrinsèque à la résolution du problème inverse, évaluée par une méthode de Monte-Carlo, est inférieure à quelques pour-cents des valeurs calculées pour un module d'élasticité équivalent et une précontrainte donnés. L'application à une maquette à échelle décimétrique a confirmé cette validation.