Détermination de contraintes résiduelles locales par micro-diffraction en faisceau blanc et faisceau monochromatique sur la ligne CRG IF-BM32 de l'ESRF

Abstract

Une nouvelle technique de détermination locale de contraintes et de textures cristallographiques est maintenant disponible sur la ligne CRG IF-BM32 de l'ESRF. Elle est fondée sur la micro-diffraction en faisceau blanc et monochromatique, et permet de cartographier dans les matériaux, les orientations cristallines et le tenseur des contraintes avec une résolution spatiale inférieure au micron. Les premiers tests ont permis de focaliser le faisceau à une taille de 0,5 x 0,5 µm². Des premières mesures ont été réalisées en 2006 sur une ligne d'interconnexion pour circuits intégrés en cuivre de largeur 1 µm. La ligne a été cartographiée sur une longueur de 60 µm avec un pas de 2 µm. Les résultats obtenus, comparés à des macro mesures, ont permis de qualifier à la fois l'équipement et le logiciel de dépouillement des micro diagrammes de Laue.