Traitement par filtrage iverse d'images obtenues par retrodiffusion d'electrons

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Pour citer ce document :
URI: http://hdl.handle.net/2042/10398
Title: Traitement par filtrage iverse d'images obtenues par retrodiffusion d'electrons
Author: VICARIO, E.; ESCUDIE, B.; HELLION, A.
Abstract: Dans un microscope électronique à balayage, le diamètre du faisceau d'électrons au niveau de l'échantillon est plus faible que la résolution spatiale, surtout lorsqu'on ne détecte que les électrons rétrodiffusés. Ceci est dû à la distribution spatiale de l'émission et se décrit par un produit de convolution entre cette distribution spatiale G(t) et le signal attendu S(t). G (t) est une fonction de point de l'échantillon et on ne peut qu'en estimer une valeur moyenne. Dans un microanalyseur, le faisceau d'électrons est plus large que la distribution de l'émission des électrons rétrodiffusés ; c'est donc la taille du faisceau au niveau de l'échantillon qui limite la résolution. Le signal obtenu s'exprime encore par : G (t) x S (t) G (t) est la répartition électronique dans le faisceau primaire, donc une fonction d'appareil. Dans les deux cas, les images ont été traitées par filtrage inverse du signal à l'aide d'un convoluteur. Le signal est traité monodimensionnellement ligne par ligne. L'image intermédiaire est conservée sur un tube à mémoire. Explorant à 90° du balayage précédent, un nouveau traitement donne l'image finale.
Publisher: GRETSI, Groupe d’Etudes du Traitement du Signal et des Images
Date: 1979

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